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輪廓度測量儀在光刻掩模版平整度檢測中的實(shí)踐
2025-11-08 在先進(jìn)半導(dǎo)體制造中，光刻掩模版的平整度直接關(guān)系到投影到晶圓上的圖形保真度。任何微小的形變都會引起焦面偏移和像差，導(dǎo)致線寬不均甚至圖形缺陷。輪廓度測量儀以其高精度、全表面掃描能力，成為掩模版平整度質(zhì)量控制的核心設(shè)備。實(shí)踐核心：高精度面形數(shù)據(jù)獲取與關(guān)鍵參數(shù)解析輪廓度測量儀通過非接觸式探針（通常是激光或白光共聚焦傳感器）在掩模版表面進(jìn)行高速、密集的點(diǎn)陣掃描，獲取整個表面的三維形貌數(shù)據(jù)。實(shí)踐中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)包括：基準(zhǔn)建立與裝夾應(yīng)力控制：測量前必須建立一個精確的參考平面。掩模版的支撐與固定...
三坐標(biāo)測量軟件PowerDMIS 在 ISO 1101:2017 線輪廓度公差驗(yàn)證中的應(yīng)用
2025-11-03 一、幾何公差二、線輪廓線輪廓度是表示在零件的給定平面上，任意形狀的曲線保持理想形狀的狀況。線輪廓度公差是指非圓曲線的實(shí)際輪廓線對理想輪廓線允許的變動量，用于控制零件上的平面曲線的截面輪廓線的形狀誤差。生產(chǎn)中常見零件的非圓曲線有凸輪輪廓線、渦輪葉片截面輪廓線、非圓曲線樣板或靠模工作面等。非圓曲線形狀都比較復(fù)雜，圖樣上通常采用理論正確尺寸來確定其理想形狀。根據(jù)零件的功能需要，線輪廓度有兩類不同性質(zhì)的要求。1、無基準(zhǔn)要求的線輪廓度指被測輪廓線為單一要素，即僅對其本身給出形狀公差要求...
激光干涉儀檢測醫(yī)療CT滑軌運(yùn)行精度及旋轉(zhuǎn)架定位精度
2025-10-28 在醫(yī)療影像技術(shù)日新月異的今天，CT掃描的的精度與效率直接影響著疾病的早期診斷與治療決策。而在醫(yī)療CT的“透視眼”背后，有一雙看不見的“激光手”正在重塑診斷精度,這便是激光干涉儀。當(dāng)0.1毫米的誤差可能影響腫瘤的定位，當(dāng)微米級的震動可能導(dǎo)致圖像拾取模糊，這項(xiàng)源于服務(wù)工業(yè)母機(jī)上的能力，正以微米級的測量精度，逐漸向醫(yī)療行業(yè)賦予“超能力”。一、測量需求檢查床CT滑軌運(yùn)行的定位精度、重復(fù)精度、直線度，旋轉(zhuǎn)架的旋轉(zhuǎn)精度和旋轉(zhuǎn)定位精度。二、行業(yè)痛點(diǎn)傳統(tǒng)方法是人工通過百分表或千分表打表，測量...
三坐標(biāo)仿真教學(xué)系統(tǒng)助力職業(yè)教育發(fā)展
2025-10-27 三坐標(biāo)虛擬測量訓(xùn)練是《工程技術(shù)訓(xùn)練(金工實(shí)習(xí))》中的一個必修訓(xùn)練模塊，通過對三坐標(biāo)模擬訓(xùn)練軟件的使用，使學(xué)生掌握三坐標(biāo)測量零件的基本原理與方法。傳統(tǒng)三坐標(biāo)教學(xué)所用設(shè)備為接觸式三坐標(biāo)測量機(jī)，在高職院校中的教學(xué)效果并不理想：（1）實(shí)體三坐標(biāo)測量機(jī)價格昂貴（數(shù)十萬至數(shù)百萬不等），中職、高職和普通本科院校往往設(shè)備數(shù)量有限；（2）教學(xué)形式以教師演示學(xué)生觀摩為主，測頭成本高，擔(dān)心操作失誤損壞（自動測頭價格10萬到幾十萬不等）（3）單臺設(shè)備排隊(duì)使用，耗時較長，學(xué)生實(shí)操機(jī)會少，難以滿足個性化...
無線球桿儀在維護(hù)與保養(yǎng)方面也是有技巧的
2025-10-24 無線球桿儀是數(shù)控機(jī)床（CNC）動態(tài)精度檢測的核心工具，通過測量兩軸聯(lián)動形成的圓軌跡與標(biāo)準(zhǔn)軌跡的偏差，快速診斷幾何誤差、動態(tài)誤差及間隙誤差，為機(jī)床調(diào)試、補(bǔ)償及預(yù)防性維護(hù)提供數(shù)據(jù)支持。其核心部件為高精度伸縮式線性傳感器，兩端各有一個精密球，通過磁力碗座分別固定在機(jī)床主軸和工作臺上。當(dāng)機(jī)床按預(yù)設(shè)圓軌跡運(yùn)行時，傳感器實(shí)時采集實(shí)際軌跡數(shù)據(jù)，并與標(biāo)準(zhǔn)軌跡對比，分析誤差類型（如反向間隙、垂直度、伺服不匹配等）及幅值。無線設(shè)計(jì)通過藍(lán)牙傳輸數(shù)據(jù)，避免線纜干擾，支持在防護(hù)門關(guān)閉狀態(tài)下操作，提升安...
無線球桿儀究竟是如何進(jìn)行操作的呢？
2025-10-22 無線球桿儀是數(shù)控機(jī)床（CNC）動態(tài)精度檢測的核心工具，通過測量兩軸聯(lián)動形成的圓軌跡與標(biāo)準(zhǔn)軌跡的偏差，快速診斷幾何誤差、動態(tài)誤差及間隙誤差，為機(jī)床調(diào)試、補(bǔ)償及預(yù)防性維護(hù)提供數(shù)據(jù)支持。其核心部件為高精度伸縮式線性傳感器，兩端各有一個精密球，通過磁力碗座分別固定在機(jī)床主軸和工作臺上。當(dāng)機(jī)床按預(yù)設(shè)圓軌跡運(yùn)行時，傳感器實(shí)時采集實(shí)際軌跡數(shù)據(jù)，并與標(biāo)準(zhǔn)軌跡對比，分析誤差類型（如反向間隙、垂直度、伺服不匹配等）及幅值。無線設(shè)計(jì)通過藍(lán)牙傳輸數(shù)據(jù)，避免線纜干擾，支持在防護(hù)門關(guān)閉狀態(tài)下操作，提升安...
影響三坐標(biāo)測量機(jī)測量精度的關(guān)鍵因素分析
2025-10-16 三坐標(biāo)測量機(jī)作為高精度幾何量檢測設(shè)備，其測量精度受機(jī)械結(jié)構(gòu)、環(huán)境條件、操作規(guī)范及軟件算法等多因素耦合影響。以下從四大維度解析關(guān)鍵影響因素：一、機(jī)械結(jié)構(gòu)與運(yùn)動精度導(dǎo)軌直線度與垂直度導(dǎo)軌是測頭運(yùn)動的基礎(chǔ)，其直線度誤差（通常需控制在±2μm/m以內(nèi)）會直接傳遞至測量結(jié)果。例如，X軸導(dǎo)軌的垂直度偏差超過0.02mm/m時，會導(dǎo)致空間點(diǎn)坐標(biāo)計(jì)算出現(xiàn)系統(tǒng)性誤差。傳動系統(tǒng)精度光柵尺分辨率（如0.1μm）與電機(jī)編碼器精度（如±0.5角秒）共同決定位置反饋的準(zhǔn)確性。...
什么是掃描電鏡？掃描電鏡的工作原理、功能、應(yīng)用案例
2025-09-25 掃描電鏡(ScanningElectronMicroscope，SEM)是一種高分辨率的電子顯微鏡，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物學(xué)、地質(zhì)學(xué)等多個領(lǐng)域。其工作原理基于電子與物質(zhì)間的相互作用，通過發(fā)射電子束并使其在樣品表面掃描，從而激發(fā)樣品產(chǎn)生各種物理信號，這些信號再被收集、放大并轉(zhuǎn)換成圖像。掃描電鏡在工作時，掃描電鏡的電子槍發(fā)射出電子束，這些電子在加速電壓的作用下，經(jīng)過電磁透鏡聚焦成細(xì)小的束斑。隨后，電子束在掃描線圈的作用下，按一定規(guī)律在樣品表面進(jìn)行掃描。當(dāng)電子束照射到樣品表面時，...

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